FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

重曹ベースの化学洗浄剤『サンファイブパワー』【エレメント用】

洗浄水を80％削減する洗浄剤！環境に配慮し、酸分除去に好適！洗浄時間が…

、重曹（炭酸水素ナトリウム）を有効成分とする洗浄剤です。 発電所や自家発電設備などに設置されている蓄熱回転再生式熱交換器（ガスヒーター・エアヒーター）のエレメント洗浄に好適です。 既存の洗浄ノズル（定置水洗装置）を使用し、エレメントは本体に組み込んだまま洗浄できます。 【従来の水洗浄との比較】 ・廃水の量を１/５に削減 ・酸性成分を中和しながら洗えるので機器の腐食を防止 ・洗...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー