FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【熱流体事例】容器の洗浄解析

汎用流体解析ソフトAcuSolveを利用して、容器の洗浄解析を実施しま…

おります。 汎用流体解析ソフトAcuSolveを利用して、容器の洗浄解析を実施しました。 水で満たした1方向に流れる洗浄水槽内に容器を複数個配置。 容器の側面と上面から水を吐き出す洗浄ノズルを配置し、容器内の 汚水が流出していく過程を調査しました。 【掲載内容】 ■概要 ■解析結果 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テラバイト