高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

レヒラー社製タンク洗浄スプレーノズル（総合）

≪Lechler≫回転式タンク洗浄ノズルの他、固定式スプレーボールもご…

レヒラー社製タンク洗浄ノズルは、エネルギーが節約できる上消耗しにくい「低圧用法」および洗浄液で動き潤滑される「回転クリーナー」を共通的に採用しています。 さらに、シリーズ500.186、500.191、500.234、5...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製タンク洗浄ノズル PopUp Whirly ATEX

≪Lechler≫レヒラー社製タンク洗浄スプレーノズル PopUp W…

ノズル据付のスペースの問題や洗浄工程で問題が生じる箇所でも使用可能なように圧力でノズルが飛び出し、回転洗浄するPopUp Whirlyに爆発性の高い箇所でも使用出来るATEXバージョンが仲間入りしました。 ATEX指令承認済み ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。...壁面内に水平に据付して使用します。 ある一定の水圧でハウジングから回転ノズルが飛び出します...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5P2/5P3）

≪Lechler≫ポップアップするユニークなノズル！壁内面と同一レベル…

5P2/5P3シリーズは、タンクの壁面内と同一レベルに設置することができます。 ある一定の水圧でハウジングから回転ノズルが飛び出し、タンク内を洗浄します。 このノズルは配管洗浄、泡スプレーにも適しています。特に食品飲料業界、製薬業界、化学産業業界で使用されています。 ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。...【仕様】 シリーズ: 5P2/5P3 [l/min...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：594/595）

≪Lechler≫低圧で効果的な泡洗浄ができます！

594/595シリーズのノズルの大きな特徴は泡スプレーです！ EHEDGに認定されているため、タンク内の洗浄のみならずプラント内部の洗浄で使用する事ができます。低圧でも効果的な洗浄を行うノズルの一つです。 ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。...【仕様】 シリーズ: 594/595シリーズ 角度: 360° 最大タンク径：約2.5m 材質：ステンレス製 ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5TAシリーズ）

≪Lechler≫強力直進スプレーでタンク内にこびり付いた頑固な汚れを…

5TAシリーズは、製薬業界、食品飲料業界に適したタンク洗浄ノズルです。高性能のソリッドジェットスプレーにより、効果的に頑固な汚れを落とします。また、このノズルは小型タンクにも適しています。推奨圧力は0.5MPaですが、最大使用圧力は1.5MPaまで可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5S2 / 5S3）

≪Lechler≫ハイインパクトで均一に洗浄します。回転制御によって非…

5S2 / 5S3シリーズは、特殊なフラットジェットノズルでスプレーを行い、強力で且つ均一に洗浄できます。 また、回転を制御することにより効果的に洗浄を行います。 様々なスプレー角度、流量で提供しております。 レヒラーのモニタリングセンサーを使用できます。 ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。 ...【仕様】 シリーズ: 5S2/5S3 角度: 180°...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5NAシリーズ）

≪Lechler≫コンパクトなデザインで限られたスペースでの洗浄に最適…

5NAシリーズNanoSpinnerは、そのコンパクトなデザインになっております。 従って限られたスペースでの洗浄に効果的です。 またこの回転式ノズルはダブルボールベアリングを採用しています。 非常に人気の高い商品となっております。 ノズル全体はステンレス製です。 高温でも使用が可能です。 ご要望に応じてATEXバージョンもご提供しております。 ※Lechler GmbHはドイツ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5TMシリーズ）

ギア式タンク洗浄ノズル！低圧で最大24mのタンクの洗浄が可能！

5TMシリーズは、様々な業界で使用されていますが特に石油化学業界で利用されています。ギア制御回転と直進スプレーによる強い衝撃力により、タンク内を非常に効果的に洗浄します。ご要望に応じて高温対応できる5TMの提供も可能です。 ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカーです。...シリーズ: 5TM 角度: 360° 最大タンク径：24m 材質：SUS316L SS、 PTF...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

固定式スプレーボールRinseClean（型番：5B2/5B3)

デザインや製品仕様により幅広い用途に適応可能！高い衛生要件や高温環境下…

RinseClean（型番：5B2/5B3）はデザインと幅広い製品の多様性により、 多くの用途で使用されています。 サニタリー用途や高温環境で使用可能です。 ご要望に応じて特殊な材質や接続でも提供できます。 ...【仕様】 固定式スプレーボール RinseClean シリーズ: 5B2/5B3 角度: 180°、360° 流量：15lit/min ? 670lit/min @ 0...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5MCシリーズ）

≪Lechler≫革新的なスロットデザインでタンク内を効率良く洗浄！

回転式タンク洗浄ノズル シリーズ：５MC 最大タンク径：約1.8m 角度：60°、180°、360° 材質：SUS316L / SUS440C 【ハステロイ仕様： Hastelloy C22 / C276】...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5MIシリーズ）

≪Lecher≫革新的なスロットデザインでタンク内を効率良く洗浄！

回転式タンク洗浄ノズル シリーズ：５MI 最大タンク径：2.6m 角度：60°、180°、360° 材質：SUS316L / SUS440C 【ハステロイ仕様： Hastelloy C22 / C276】 ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製回転式タンク洗浄ノズル（型番：5TBシリーズ）

≪Lechler≫ギア制御による高性能ソリッドジェットスプレーにより、…

5TBシリーズは5TAシリーズと共に、製薬業界および食品飲料業界に適したタンク洗浄ノズルです。 ギア制御による高性能のソリッドジェットスプレーは、効果的に頑固な汚れを落とします。また、高品質な表面処理もされております。 ※Lechler GmbHはドイツスプレーノズルメーカ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社