FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

除菌消臭型・浸透圧油脂分解剤

配水管内の頑固な汚れに強い洗浄力−−硬水を軟水に。人と地球に優しい除菌…

除菌消臭、浸透圧油脂分解剤。 大幅なコストダウンに貢献します。 洗浄剤コストはもちろん、濯ぎの速さに節水・工程短縮ができます。 排水時における環境ホルモン、ＩＳＯ問題、ＰＲＴＲ法すべてクリア。 配水管内の頑固な汚れに強い洗浄力−−硬水を軟水に（カルシウム・マグネシウムを一気に分解）。 家庭から重工業まで幅広い用途に対応します。 エコクリーナーブルーは粉末で提供しております、温水で希釈す...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ＫＨプラン