FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コーティング【はっ水成膜加工済】セラミックノズル

微細塗布には必須！ 機能性表面処理膜【はっ水成膜加工】を施したセラミ…

特徴 ◆最小内径25ミクロン、ノズル先端肉厚12ミクロン。先端外径５０ミクロ　ン　 　狭ピッチ部品の隙間に材料を吐出する時に最適です。 ◆吐出時、材料の這い上がりがありません。 ◆表面処理はノズルの内側・外側に施していますのでノズル洗浄時、 　材料が残ることはありません。 ...ノズル内径（ｍｍ） MicroNozzleシリーズ 0.025 0.05 0.075 St...

メーカー・取り扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ

１液・２液型アプリケーション

液状からペースト状までの液体を定量吐出。 ２液の場合は高精度攪拌…

ピストンポンプ、ギアポンプの豊富なバリエーションと 120℃迄の温度制御により、液状からペースト状までの液体を 定量吐出できます。...ミキシングはスタティックミキサー、回転式スタティックミキサー、 ダイナミックミキサーにより高精度攪拌が可能です。 特に高粘度樹脂の分野で活躍しております。 ●特徴● ・停電時、エアー残圧のみで、主剤置換洗浄が可能 ●性能● ・圧縮比80:1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスト