高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

微弾性吹きつけ『JFK工法』

微弾性フィラー吹きつけの新工法！安定した形状での玉吹きを手軽に汚さずで…

『JFK工法』は、COX社のジェットフローガン3と、カートリッジタイプの 「微弾性フィラーエポCT」を使用した、微弾性フィラー吹き付けの新工法です。 ジェットフローガン3をお手持ちのコンプレッサー（1.5～3馬力）に つなぐだけで玉吹きによる部分補修が可能になりました。 ノズルカットにより、大/中/小模様の玉吹きを安定した形状で吹出させることが できます。 内容物がカートリ...

メーカー・取り扱い企業： シャープ化学工業株式会社 大阪本社