FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型高圧洗浄装置

スプレーノズルカセット専用！管内管外洗浄方式の小型高圧洗浄装置

『小型高圧洗浄装置』は、ダイキャストマシーンの離型剤スプレーノズルの 洗浄を目的とした設備です。 洗浄剤とエアーを利用し、管内外の洗浄を行います。 現在検討計画中の物件、興味のある物件がございましたらご連絡下さい。 ご説明にお伺いします。 【特長】 ■スプレーノズルカセット専用 ■管内管外洗浄方式 ■洗浄剤とエアーを利用 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東海化工機