強力波動エアー噴射ノズル「パタガン SPG／PGOシリーズ」

PR【展示会出展】広範囲を強力エアーブロー。水切り・油切り・除塵が効率的。…

『パタガン SPGシリーズ／PGOシリーズ』は、水切り乾燥・除塵などのエアーブロー作業の効率化を実現する“波動ノズル”を搭載したエアーガンです。 断続的な衝撃波を広範囲に及ぼすことで作業時間の短縮が可能になり、エアー消費量も節約できるため省エネ・省力化に貢献します。 コンプレッサーエアー用の「PGO-91型/91G型」をはじめ、広範囲の処理に適した「SPG-40型/40G型」、狭い範囲の処理に適...

メーカー・取り扱い企業： 大浩研熱株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

水冷式冷水循環チラー(屋内型)

水槽の清掃も簡単水槽！圧送ポンプを内蔵した屋内型水冷式冷水循環チラー

当製品は、凍結、ゴミ詰まりのないコイル式熱交換器を採用した屋内型の 水冷式冷水循環チラーです。 圧送ポンプを内蔵しており、装置との接続配管と電気の接続ですぐに 使用可能なほか、二重管式凝縮器を採用し、ゴミ詰まりの少ない構造です。 また、凝縮器洗浄用ノズル付きで、洗浄ユニットで薬品洗浄できます。 【特長】 ■凍結、ゴミ詰まりのないコイル式熱交換器を採用 ■圧送ポンプ内蔵で装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェムテック