FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ワイパー付き覗き窓『FC－FY/SU4－FY』

強力ワイパーで本当の見えるを実現したワイパー付覗き窓！

『FC－FY/SU4－FY』は、タンクの覗き窓にワイパーが附いた製品です。 ワイパーの機構はフランジの中なので、サイトグラスの強度の低下はありません。 また、フローゲージで培われた強力ワイパーが頑固な汚れを取ります。 ワイパー上部ノズルは洗浄、噴射ノズルとしても利用可能です。 【特長】 ■タンクの覗き窓にワイパーが附いた製品 ■サイトグラスの強度の低下がない ■フローゲー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大洋バルブ製作所

プロセスカメラ

高圧タンク等のベッセル内部を遠隔モニタするカメラと照明が一体型になった…

プロセス・カメラは、高圧タンク等のベッセル内部を遠隔モニタするシステムです。 カメラと照明が一体型になっている為、取付けノズルは一カ所でも設置できます。 フランジタイプ、サニタリータイプ及びNPTねじ込みタイプがあります。 また、アナログカメラとイーサネットカメラがあります。フロント部分にはフューズビュー・サイトグラスを使用しており、安全で高温高圧下 でも使用できます。 照明は光ファ...

メーカー・取り扱い企業： 新日本通商株式会社