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プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ PLAZMARK』
PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現!プラズマインジケータ(TM) P…
『プラズマインジケータ(TM) PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます(ただし数値化には別途、色差計...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サクラクレパス PI事業部
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PR金属系コンタミを大幅に抑制したビーズミル。処理速度も向上。「第26回 …
医薬品API粉砕装置『アペックスミルF&M』はミル、タンク、ポンプを一体にし サニタリー性の改善とコンタミの抑制を徹底的に追求したビーズミルです。 特許出願中の「動的シーリング機構」の採用でメカニカルシールを省略。 分解洗浄の手間を省き、スラリーへの摺動部摩耗粉の混入を防止しています。 【特長】 ■メカニカルシール不要の独自構造で金属・シール液によるコンタミを防止 ■ビーズ分離部からの金属コン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社広島メタル&マシナリー ケムテック事業部
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処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較
Si表面についてHF処理後、オゾン処理後の状態を比較しました。 正イオンスペクトルではSiのピーク強度が異なりました。HF処理後のSi強度が弱いのはSiが金属系のためで、一方、UV-オゾン洗浄後やAs ReceivedのSi強度が強いのはSiが酸化物系のためです。 負イオンスペクトルからは、HF処理後ではSiF,SiH,Six系、UV-オゾン洗浄後やAs ReceivedではSiO2系など表...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Cuスペクトルの複合解析
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ICP-MS:誘導結合プラズマ質量分析法
、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。 なお、事前に洗浄処理をしたSiウエハの貸出しも行っております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『AMOLEA AS-300』
『AMOLEA(アモレア)』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業…
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汲取り不要!洗浄水不要!基材交換不要!仮設トイレ、公園、山小屋…
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集塵極へのダストの付着・堆積が少ないダスト・ミスト処理設備
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産業廃棄物焼却プラント『ヤスジマ製 バイオマスボイラシステム』
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30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れも…
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電子部品製造等における洗浄工程の改善ヒントに!初心者にもわかり…
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切削液にアルカリイオン水を混ぜるだけで【切削液の腐敗防止】【加…
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