パイロットのセラミックス『微細孔セラミックス』

PR微細孔セラミックス：最小孔径Φ0.02mmの制作が可能

一般的にドリル加工やレーザー加工では、直径1mm未満の細孔の場合、 アスペクト比（深さ/内径）が10以上の深孔は困難とされています。 弊社は高度な押出成形でアスペクト比200以上の物まで製作可能です。 また、自由な肉厚で製作でき、変形や偏肉が生じやすい「薄肉パイプ形状」であれば 肉厚0.1mm、長さ100mm（外径Φ1.3mm時）の製作も出来ます。 材質はアルミナ、ジルコニア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイロットコーポレーション

連続バフ研磨装置～高速回転で高精度を実現～

PR長尺コイルにおいて安定して均一な研磨表面！

弊社のバフ研磨装置、砥石研磨装置は、主に伸銅（条）業界においてご使用いただいております。 焼鈍後の酸化スケール除去、出荷前の仕上工程等で役立ちます。 バフクーラント、バックアップロール洗浄、材料洗浄のスプレー構造は操作側から容易に角度調整が出来、 脱着可能なのでメンテナンスが楽！最適な配置と流量管理により、表面品質の手助けとなります。 2連、4連、6連とスペースや目的に合わせて選択可能！ 粗、仕...

メーカー・取り扱い企業： 生田産機工業株式会社

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

【Sonaer】ソニア社製低流量型超音波スプレーノズル

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。 これらのノズルはピンポイントスプレーシェーパーで粒子の焦点を合わせ、溶液の無駄を省くことに理想的です。 これらのノズルでコーティング制御が可能となり、薄くて均一な塗布を必要とする用途に簡単に適...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

微流量調整バルブ（微流量調整弁）　『H-1300シリーズ』

ステム角度1°、3°、5°から選択可能で、よりお客様のご要望に合わせた…

H-1300シリーズは、中圧計装用流量調整バルブ（流量調整弁）です。 小型でコンパクトな構造のバルブで、耐用年数が長く、低流量・中流量のフローを正確に制御できます。 ストレート型、アングル型がありパネルマウントが可能。 必要な流量調整を実現する1°、3°、5°のステムテーパーをご用意。 耐用年数を延ばすストッパショルダ付ステム。 ハンドル種類、パッキン種類も豊富で様々な分野でご使用可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』

1つのバルブでオン/オフ と微流量制御を行うことができます。 2 i…

微流量調整バルブ（微流量調整弁） 『MBVシリーズ』は、流量調整バルブ（H-1300シリーズ）とボールバルブ（H-800シリーズ）を１つにまとめた、今までにない画期的なバルブです。 １つのバルブで流体のオン／オフと微流量調整を行う事ができます。 ＜特徴＞ ・微流量調整用バルブとしてはH1300シリーズ同様にステム角1°、3°、5°をご用意 ・ボールバルブとしてはH800シリーズ、Sボデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

ON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADROITシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。...■ マイコン制御による流体流量のコントロール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量で すべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの 動向を見ることができます。 【特長】 ■質量流量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者インターフェイス ■インヴァーター電源＝安定性 ■液体燃料＝厚くて低応力の皮膜 ■さまざまなガンを使用することが可能 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

レーザークラッド加工装置『MED-CLAD』

純度の高い皮膜で、金属部材の耐食・耐摩耗・耐衝撃性能を高めます！

ーン型の製品で、レーザークラッドの皮膜を 施すのに使われるレーザークラッド加工装置です。 制御盤ボックスは、繰り返しのきくクラッディング用にレーザーシールドガスと パウダー送りガスの質量流量制御を提供。 クラッディングの工程のすべては、タッチスクリーンのパネルを通して制御され、 操作者とのインターフェイスはwindowsのインターフェイスで操作されます。 【特長】 ■低い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズで...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産ラインの圧力校正試験に圧力コントローラ PACE】 ■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

【特徴】 ◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, データ解析 【主仕様】...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール 卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種 「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精…

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。...【特徴】 ○液体流量コントローラと流量計を１つのシステムに統合 ○セットした流量をモニタリングしフィードバック ○高再現...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

デモ機貸出中！　高精度スプレーコーター『API-40RD』

吐出精度１％以下！成膜プロセスを効率化する卓上型スプレーコーター！デモ…

『API-40RD』は当社独自の流量制御技術DLCSと同等精度の流量制御（１％以内）を実現した 卓上型高精度スプレーコーターです。 【API-40RD 製品仕様】 ・装置寸法：850(W) x 800(L) x 750(H) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

BPS-2000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するの...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置

◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWN…

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：RT→1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。 パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。 脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。 よって、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＱＵＡＴＨ

Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンタミ・メンテ・振動を最小化　ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ

【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロ…

革新的なポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、インペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触で浮上し、電気的な磁気制御により回転駆動されます。 この構造・システムにより、精密な流体の圧力・流量制御を可能としています。 もちろん、接液部となるインペラとポンプケーシングは、高純度フッ素樹脂で作られているので高い耐薬性能を有しています。 ■無摺動・無接触構造 各接液部品は、相互に接触し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

熱制御システム　HEATCon　高効率能動式温度コントローラー

評価テストから量産テストまであらゆるテスト環境に適用！

HEATCon High Efficiency Active Thermal Controller　 高効率能動式温度コントローラー HEATconは強力なヒーターと調整可能な流量（自動流量制御）でICのテスト温度をコントロールする高効率能動式ソリューションです。 温度：20～150℃ アプリケーション：ソケット蓋/プランジャ/カンチレバー/ハンドラ 適用範囲 : 高消費電力デ...

メーカー・取り扱い企業： WinWay Technology Co., Ltd.

米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)

多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。

流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすことなく流量を制御します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

ＮＥＷ温度可変レーザ三次元測定機

リフロー時における熱変形を高精度測定　半導体パッケージ・プリント基板・…

最大で10℃/secでの加熱が可能となり、リフロー時の温度プロファイルを忠実に再現できます。 幅広い温度範囲　正確な温度制御 　試料の加熱・冷却・温度保持をおこなう恒温チャンバは、液体窒素流量制御とヒータ出力制御によりマイナス７０℃から３５０℃までの温度範囲で正確な温度制御をおこないます。 充実した測定機能　各種解析サポート機能　多彩な解析と機能 　◇Surface測定・Closs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス