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アーク制御技術を実装!安定した電力供給のできる電源システム!
い高品質の薄膜の成膜を可能にします。 電源の信頼性は厳密な認定プログラムによって保証されています。 最適化されたアーク制御(Arc Management System)技術で アークを消去することにより、膜へのダメージを防ぐとともに プロセスを阻害する要因を取り除きます。 【特長】 ■30、40、60 kWモデル ■特許取得済み/特許申請中のアーク制御(Arc Manag...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスドエナジージャパン株式会社
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