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16件 - メーカー・取り扱い企業
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PR精度はなんと±0.1%R.S.で最大流量7500L/分!2次標準器とし…
スクリューメータ 容積式流量計「OMGシリーズ」は、流体が直線的に流れる構造ですので一般的なギアー式に比べると格段に圧力損失が低く、流量計内部の負荷も軽減されます。 測定精度は±0.1RS と非常に高く、流量基準器としてもご使用いただけます。 対応流体は、接着剤,シーラー,PVC,ポリオール等の高粘度液体の計測はもちろんのこと、ガソリン,軽油,灯油等の燃料の低粘度液体の計測も可能です。また、豊...
メーカー・取り扱い企業: 日本テスコン株式会社
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【CO2・温湿度・PM・VOC】多彩な測定項目【CD2シリーズ】
PR『CO2や空気中に含まれる見えない粒子』を数値化してみませんか?クリー…
VERIS社製『CD2シリーズ』は、ダクトやチャンバー内の 計測や制御に使用される 多項目測定CO2 センサです。 非分散型赤外線方式(NDIR)により、高精度で長期安定性に優れた計測を行います。 また、特許取得の自己校正機能により、ドリフトの補正を自動的に行い、 長期間のメンテナンスフリーを実現します。 当シリーズでは、CO2、温度、湿度、VOC、PM を組み合わせた型式をご用意しております...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社パーソンズエンジニアリング
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品:温度変化に強いADRO...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!
8"工程用Pishowシリーズ: ・Pishow: シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能; 幅広く温度の工程に対応可能; エッチングの速度と均一性を精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A: HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能; pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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レーザーの温度制御に最適!
ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 冷却能力700~900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター
−...●接液部がPFAでできており、全ての薬品に使用できます。 アルカリ、溶剤OK。 ●ヒーター表面温度を低く設計しており、温度劣化の激しい薬液に最適。 ●設置場所を選ばないコンパクト設計。 ●制御電源は安価なSSR駆動でOK。高価な位相制御は不要。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セラ
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル224は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル224はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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化合物半導体プロセス用 ICPエッチング装置
l)電極の 採用により、大面積に対して高い選択比と高精度で均一性に優れた エッチングが可能 ○低バイアス(-100V以下)での低ダメージプロセスが可能 ○基板ステージおよび反応室内壁の温度制御により、安定した条件での エッチングが可能 ○ロードロック室にもターボ分子ポンプを採用し、より安定したプロセスを提供...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対応…
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種(一例)】 Pishowシリーズ: ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種(一例)】 Shale Cシリーズ: ■IC...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによ...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテス…
標準仕様 ステージ寸法:250mm□ エッチング方式:RIE CF系ガス標準 シンプルな機構でRIE/DPモード切替可能 ステージ温度制御(水冷/加熱)選択可能 ステージ寸法大型化(最大500mm□)対応可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工!プロセスガスからラジカルを選択的に…
『CCP-T60M/B2M』は、高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工を実現する 平行平板型エッチング装置です。 プロセスガスからラジカルを選択的に生成し、低電子温度、高密度プラズマが 得られる60MHzパワーを上部電極に印加。 また、常に適切なエッチングプロセス条件が維持されるシーケンスプログラムを 内蔵しています。 【特長】 ■平行平板型エッチング装置 ■高精度かつ高信...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適!消費電…
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越え...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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レーザー装置に最適!ペルチェチラー『ThermoRack401』
低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適! 消…
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越え...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack401』
低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適!消費電…
ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか2か所なのでささやきのような静粛性・無振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越え...
メーカー・取り扱い企業: エムエス機器株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対…
・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ: シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能; 幅広く温度の工程に対応可能; エッチングの速度と均一性を精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・成膜機種 Shale Cシリーズ: ICP CVD(誘導結合プラズマCVD) 低温条件(<120℃)で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える ...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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東京材料株式会社 -
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