ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ：
・Pishow：
シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；
幅広く温度の工程に対応可能；
エッチングの速度と均一性を精密制御；
BOSOH工程に対応可能
・Pishow A：
HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能；
pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御；
超低出力工程に対応
・Pishow D：
DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応；
ガスの切り替え速度＜1s；
BOSOH工程に対応可能
基本情報ICP エッチング装置
量産機種では、12"工程用Herent, Chimeraシリーズ、8"工程用Kessel Pishow、Terbank Pishowシリーズもあります
| 価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Pishowシリーズ |
| 用途／実績例 | 半導体、金属、ハードマスクなど材料のエッチング |
詳細情報ICP エッチング装置
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Pishow型装置
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Pishow A型装置
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Pishow D型装置
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Kessel Pishow型装置
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