FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【技術コラム】第13回：電気自動車の空調方式と課題について

暖房熱源が不足！完全な電気自動車に代わると、この問題はより顕著になりま…

ていただきます。 図で示した冷凍サイクルの通り、エバポレータで冷媒と熱交換した空気は 冷風となり、夏場の空調に使われます。 ただし、乗員の好みの温度にするためには、ヒータコアで作られる温風と ミックスする必要があります。ヒータコアに入る温水はラジエータの冷却水です。 近年ハイブリッド車が普及し、この暖房熱源が不足し始めました。 エンジンを間欠式に運転するため、エンジンからの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社最上インクス