FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

遠赤外線アニール炉

遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮

大幅に短縮します。 樹脂成形品のアニール処理を画期的に変えるシステムです。 ●処理時間の大幅短縮 　遠赤外線の放射加熱及び熱風拡散を併用する事により処理時間を大幅に短縮できます。 　従来温風バッチ炉　１〜２時間→ノリタケアニール炉　３〜５分 ●コンベア式による連続処理 　処理時間が短くなる事により、コンパクトな連続炉となります。その為、成形機直結の連続処理にも対応でき、生産効率...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

Siナゲット洗浄装置

Siナゲット洗浄装置　専用バスケットで自動搬送　化学研磨・酸切・高品位…

す。 その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。 洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、１５０℃の温風で予備乾燥されます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

計 　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し） ■大手露光装置メーカーにより認可済 ■超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合 ■温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合 ■乾燥時の最高温度: 60℃（均一） 使用時温度：18℃～30℃ ※国内外デバイスメーカにて採用実績あり ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

部品を温水高圧洗浄！ 水滴を吹き飛ばし乾燥させる、高圧洗浄機 【特徴】 ○ノズルはロボット制御にて自動動作 ○乾燥は、圧縮エアーにより水滴を吹き飛ばし 　オプションにて温風発生器も付加が可能 ○半自動タイプで　組立セル方式に最適 ○温水は、備え付けのろ過装置によりろ過され綺麗な温水が循環 ○浮上油もろ過装置内のオイルスキマーにて取去る事が可能 ○設置面積を考慮...

メーカー・取り扱い企業： コニテク株式会社

手動乾燥機（JID-01型）

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。 ・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。 ・ワークは2ブロックセット出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社