FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

計 　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し） ■大手露光装置メーカーにより認可済 ■超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合 ■温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合 ■乾燥時の最高温度: 60℃（均一） 使用時温度：18℃～30℃ ※国内外デバイスメーカにて採用実績あり ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行