工具研磨・放電加工機『VHybrid 260』

PR1台で研磨加工と放電加工を実現。8個まで搭載可能なツールチェンジャーで…

『VHybrid 260』は上側に研磨スピンドルを、下側に放電加工スピンドルを配し 短時間で切り替えながら効率的な工具加工を実現する加工機です。 放電加工だけで、最高Ra0.05μmの非常に滑らかな表面仕上げを実現できるほか、 φ1mm以下の小径工具の微細加工にも対応可能。 最大8個まで搭載できるツールチェンジャーにより生産性を大幅に高められます。 現状PCD工具を「研磨にて...

メーカー・取り扱い企業： フォルマー・ジャパン株式会社

【初展示製品多数】医薬品・化粧品の開発に関わるご担当者様必見！

PRインターフェックスWeek東京に出展します。ニッチだけど新しい、費用対…

ジャパンマシナリーは、「インターフェックスWeek東京」に出展いたします。 一つのカテゴリーに収まりきらない製品群を持つ当社のブースでは、 商品開発、プロセス開発、生産技術、製造、保全までのすべての ご担当者様必見です。 わずか1μL/秒の極小領域対応のシングルユース対応シングルユースマイクロ ドージングポンプ「QB2-SD」や、ゲームチェンジャーとなる世界最小クラスの 顕微ラマン分光センサー...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム