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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
■最大流量:30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度:20μm ■接ガス金属部面粗さ:Ra0.25μm(オプション:Ra0.1μm) ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳しくはP...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
最高使用圧:1.0MPa ■最大流量:1、000L/min(nor) (P1=4.5MPa、P2=0.4MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:6.7kg ■内蔵フィルター濾過度:20μm / 10μm(SHシリーズ) ■接ガス金属部研磨粗さ:Ra 0.25μm ■出入口ポート口径:1/2" ■外部リーク量:1.3×10^-10Pa・m3/sec以下 ※詳しく...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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出荷検査を全数に実施!組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルー…
側最高使用圧:0.06MPa ■最大流量:40L/min(nor) (P1=0.1MPa、P2=0.06MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:5.2kg ■内蔵フィルター濾過度:フィルターは入っていないので、別途設置 ■出入口ポート口径:3/8" ■外部リーク量:1.3×10^-8Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用標準機種!電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…
使用圧:1.0MPa ■最大流量:550L/min(nor)(P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.3kg(4ポート) ■内蔵フィルター濾過度:5μm ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下(ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下(溶接接続) ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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内部リーク発生を低減!一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…
用圧:1.0MPa ■最大流量:1、400L/min(nor)(P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.8kg(4ポート) ■内蔵フィルター濾過度:20μm ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下(ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下(溶接接続) ※詳しく...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…
出口側最高使用圧:1.0MPa ■最大流量:300L/min(nor)(P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.1kg ■内蔵フィルター濾過度:20μm ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下(ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下(溶接接続) ※詳しく...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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ご希望の仕様に合わせて都度製作!Heリークテストを含め、出荷検査を全数…
■出口側最高使用圧:1.0MPa ■最大流量:220m3/h(nor) (P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:14kg ■内蔵フィルター濾過度:フィルターは入っていないので、別途設置 ■外部リーク量:1.3×10^-6Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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電解研磨仕様品の製作も可能!Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実…
■出口側最高使用圧:15MPa ■最大流量:800L/min(nor) (P1=13MPa、P2=12MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:2.0kg ■内蔵フィルター濾過度:2μm ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量:1.3×10^-7Pa・m3/sec以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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