【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

キャンドポンプ【液漏れしない構造、アンモニア(NH3)等に好適】

PRアンモニア混焼発電、タービン&エンジンの燃料移送用途、アンモニ…

外部漏れの無いキャンドモータポンプが、脱炭素関連の設備で活躍します。 【主な特長】 ◆既存発電所へのアンモニア混焼 ◆アンモニアを燃料とするタービン発電や船舶用エンジンの燃料用ポンプ ◆アンモニアサプライチェーン（貯槽、輸送関連） ◆CCS、CCUS(二酸化炭素回収・貯留技術）に関係する、多種・多様なニーズに対応 幅広い、流量や全揚程をカバーし、各種法規対応も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社帝国電機製作所

ドライスクロールポンプ　IDP-3

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポ…

「IDP-3」は、革新的なハーメチックデザインにより、モータ及びベアリング部が 真空スペースの外側に位置するため、吸引されたガスから完全に隔離すること ができます。 システムへのインテグレーションが容易で、多種多様なアプリケーションに対応致します。 バリアン特許のスクロール技術を用い、軽量、コンパクトながら排気速度60L/m、 到達圧力33Paを達成したコスト効率の高いドライポンプです。...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。 …

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。 ...＜主な仕様＞ 排気速度：90 l/s～450 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

各種真空ポンプ　オーバーホール

"粗引きポンプから超高真空用ポンプまで、オーバーホール 致します。"…

"国内外の各メーカーの真空ポンプを修理・オーバーホール 致します。 添付資料の修理依頼書に記入の上、ご依頼下さい。 事前見積りがご入り用であれば、提出致します。 東京・神奈川・茨城地区であれば、引き取りに伺います。 遠方の場合には、オイルを抜いた上で送付して下さい。" ..."＜取扱ポンプ＞ 　●ロータリーポンプ 　●スクロールポンプ 　●ターボ分子ポンプ 　●油拡散ポンプ ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

アジレント社VHS、HSシリーズ　油拡散ポンプ

大排気量・高真空用の真空ポンプのご紹介です。

"アジレント社製油拡散ポンプは、大排気量・大流量に適した 安価な高真空用ポンプです。 ガス種によらず、連続で安定した排気が行えます。 フランジ口径 ２インチ～ ３５インチまで、各種取り揃えております。" ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特長】 ○先進のロータテクノロジ →高いプロセス柔軟性 →オイルフ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業…

パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、 アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。 また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主な特長】 ○コントロールパネル標準装備 →リモート/ローカルＯＮ/OFFやアラーム・ワーニングを...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

ターボ排気システム　TPS-compact

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

コンパクトで操作性に優れており、低コストでお手軽に高真空環境を提供することができます。 幅広いアプリケーションで使用できる設計となっており、簡単に使用できます。 また、圧力の確認も容易にできます。 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主な特長】 ○排気速度 →46-380L/sec ○オイルフリー →粗引ポンプにＩＤＰ-3を採用 ○Ｖ81またはＶ3...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301

長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特長】 ○実績の信頼性 ○クリーンなオイル...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社