結晶欠陥検出装置 フォトルミネッセンスイメージング装置

ウエハの全面測定での欠陥検出に

フォトルミネッセンス画像と分光情報の同時取得可能な画期的な製品...フォトルミネッセンス法 （Photo Luminescence）とは分光測定法の一種で、検査対象に光やレーザー等を照射したときに、検査対象が光子（Photon）を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。 フォトルミネッセンスイメージング装置は、高い解像度でフォトルミネッセンス画像（PL画像）を取得するだけではなく、分光情報も...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社