【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』

極薄基板などワークの防汚課題を解決！フィルムなどデリケートな薄物ワーク…

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質 セラミックス真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。 ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と 作業効率向上を実現します。 また、ワークは浮上ユニ...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

【採用事例4】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：吸着・研磨】独創的なアイディアで将来性に期待、 技術開発の連携…

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたD社様では下記のような課題がございました。 【課題】 研磨装置の開発、販売を行っているが、研磨時のワーク固定が課題… 新技術を活用した製品開発の必要を...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

【採用事例3】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：吸着】高い技術力ですべての課題をクリア、新たな挑戦に向けて

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたC社様では下記のような課題がございました。 【課題】 従来の真空チャック製品では吸着面のエアー抜きの穴にフィルム素材が引き込まれ、 たわみが生じるため...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

【採用事例1】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：浮上】安定したワークの浮上により 作業効率と品質の向上を実現

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。 【課題】 ・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい… ・ワークを浮かせたままレーザ...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

【採用事例2】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：研磨】ワックス不要による工程削減で作業効率アップに成功

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。 ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。 【課題】 研磨の際にサファイア基板をワックスで固定しているが、 貼る、剥がす、洗浄するといった一連の作業に...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社