【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

電子材料向け『真空熱プレス・金属箔への樹脂塗工』【河村産業】

前工程で表面処理も行える「真空熱プレス」や金属箔への「塗工」技術は、5…

村産業では、電子材料向けの素材の開発製造や、付随する加工技術を提供しています。 5G用基板や面状発熱ヒーター用基材向けにも採用実績のある技術をご紹介します。 【当社の技術：電子材料向け ‐ 真空熱プレス 塗工技術の強み】 　■真空熱プレス 　真空熱プレスによる試作・量産では、接着剤レスでのプレスができるため、 　材料本来の特性をより活かすことが出来ます。（※接着剤有りの積層品にも対応...

メーカー・取り扱い企業： 河村産業株式会社