ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

高精度Zステージ『L-310』

工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ

『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和ア...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

インクリメンタル角度エンコーダ RIK 4

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタル角度エ…

■特長 ・小型形状 ・アルミ製目盛ディスクの採用による低慣性モーメントの実現 ・ディスク径や目盛線本数の種類が豊富 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛線本数: ～24000 ・ディスク外径: φ19mm～φ192mm ・最高回転速度: 22000rpm ・インターフェース: 1Vpp、TTL...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIK 41

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタルリニア…

■特長 ・限られた設置スペースに対応する超小型寸法 ・大きな取付け公差 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛間隔: 20μm ・推奨分解能: 5μm～0.05μm ・精度等級: ±5μm ・原点: 中央に1箇所 ・インターフェース: 1Vpp、TTL...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

高速、高加速用途にも対応ミニチュアリニアガイドウェイ

コンパクトでありながら最高速度5ｍ/sと最高加速度300m/s2に対応…

ジは交換可能 ■キャリッジとレールとの間のすき間が狭いため、汚染のリスクが低い ■ゴシック形状による高耐荷重・高載荷容量 ■走行時の低振動 ■負担の少ない感度 ■10-7 mbar までの真空対応...

メーカー・取り扱い企業： 日本シュネーベルガー株式会社

光学走査方式組込み型角度エンコーダ ECA 4000シリーズ

ベアリングを内蔵しない高精度アブソリュート角度エンコーダ

号品質 ・高速回転対応 ・取付け公差が大きい ・3箇所で芯出し調整を行う または 芯出しカラー付スチール製目盛ドラム ・すべてのインターフェースで機械的故障の除外に対応 ・機能安全対応や高真空対応など各種バージョンあり ■仕様 ・目盛精度: 　機械的故障の除外あり ±2.0"～±3.7" 　機械的故障の除外なし ±1.5"～±3" ・位置値/回転: 最大29ビット ・...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社