フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業： 富士ハイテック株式会社

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空シール組込み軸受けユニット

クリーンな高真空を実現、磁気シール組込み型、軸受けユニット

◎ロボットシールの高性能化を提案します。 ◎高温・活性ガスに耐えうる磁気シールを提供します。 ◎超高真空システムなどに対応します ◎漏洩磁束の少ない磁気シールを提供します。 ◎スタンダード品、カスタム品から目的にあった製品をお選びいただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 理学メカトロニクス株式会社 拝島工場

ステンレスリニアベアリング（樹脂保持器）

特に水・蒸気・硫酸等の腐食及び真空使用環境に適しています。

「ステンレスリニアベアリング（樹脂保持器）」は特に水・蒸気・硫酸等の腐食及び真空使用環境に適しています。型式表示構成はシール無、片シール、両シールをご用意しております。部品材質構成は、外筒がSUS440C、保持器が樹脂（POM）、ボールがSUS440C、リングシールがニトリルゴムとなっています。玉列数4～6、内径10～30mm、外径19～45mm、全長29～64mmの製品をラインナップしています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HLリニアシステムジャパン

溶接金属ベローズ

様々な分野で採用！超高真空から高圧、低温から高温まで幅広い環境下で発揮…

『溶接金属ベローズ』は、独自の製作方法によって超薄板溶接された ネスティングタイプ(密着型)のベローズです。 超高真空から高圧、低温から高温まで幅広い環境下で、優れた耐久性・ 伸縮性・耐食性を発揮。 半導体・液晶分野においては、長寿命かつクリーンな溶接ベローズを 提供することにより、設備の生産効率を高めていると好評です。 また、過酷な条件下で使用される分野においても高い信頼をい...

メーカー・取り扱い企業： ダイジク株式会社 大阪本社

【技術資料】直動システムの特殊環境仕様

直動システムの特殊環境仕様

半導体製造装置、液晶製造装置、医療機器、食品機械などの特殊環境で使用される直動システムは、約30年の技術と豊富な経験から生まれました。 この冊子では、多様化する要求にお応えするため、独自 のボールリテーナ技術、材料技術、潤滑技術、表面処理技術より生まれた特殊環境仕様の製品についてご紹介します。...●真空 真空環境下では、樹脂からの放出ガスとグリース飛散の対策および、防錆油が使用できないため...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

ステンレスリニアベアリング（金属保持器）

特に水・蒸気・硫酸等の腐食及び真空使用環境に適しています。

「ステンレスリニアベアリング（金属保持器）」は特に水・蒸気・硫酸等の腐食及び真空使用環境に適しています。部品材質構成は、外筒、保持器、ボール、ストップリングがSUS440Cのオールステンレスとなっています。玉列数4～6、内径10～35mm、外径19～52mm、全長29～70mmの製品をラインナップしています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特長】 ○特に水・蒸気・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HLリニアシステムジャパン