FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』

簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ

だけでトラブルの原因となる微小異物を 捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。 【特長】 ■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた 　クリーニング層を装備 ■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、 　従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能 ■従来の人手によるクリーニングに比べ、 　簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる　など ※詳しくはPDFをダウン...

メーカー・取り扱い企業： 日東電工株式会社 東京支店

『液晶潤滑剤』機械の耐久性向上及び超低発塵性

集合体潤滑で高耐久性を実現。蒸発しにくく低発塵・高耐熱。粘度・固さ調整…

『液晶潤滑剤』は液晶潤滑剤分子の集合体により金属表面を保護するため、 フッ素系真空用グリースと比較して約20倍の高耐久性を実現した製品です。 蒸発しにくく、高真空環境や高温環境でも安定した性能を発揮。 また、発塵が極めて少なく、半導体製造装置や液晶、 ELディスプレイ製造装置などへの使用にも適しています。 ご要望に応じて粘度・硬さなどの調整も可能です。 まずはお気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： グローバル・コーティング株式会社 第一工場