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簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ
だけでトラブルの原因となる微小異物を 捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。 【特長】 ■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた クリーニング層を装備 ■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、 従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能 ■従来の人手によるクリーニングに比べ、 簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる など ※詳しくはPDFをダウン...
メーカー・取り扱い企業: 日東電工株式会社 東京支店
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研究開発から量産までサポート!
信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。...【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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トレンド情報から当社が解決してきた課題!装置や製造工程からみつかる解決…
【その他の掲載製品(一部)】 ■ご要望例 ・真空チャンバ内でコンタミが発生しないかじり防止のねじがほしい ・ハステロイより耐蝕性の高いねじが欲しい ・洗浄液で腐食せず樹脂より強度が高いねじが欲しい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京...
メーカー・取り扱い企業: テックトレーディング株式会社
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