FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

卓上真空ラミネーター(B2タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：手動 真空計：ピラニー ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mm...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(A2タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：分割式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：手動 真空計：ピラニー ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(B1タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：4kgf ロードセル：無し Z軸：手動 真空計：プルドン ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(A1タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：分割式 加圧力：4kgf ロードセル：無し Z軸：手動 真空計：プルドン ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ）...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空貼合装置(B3タイプ)

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空貼合装置

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：自動 真空計：ピラニー ヒーター:有り ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。 ・上下ステージはMax120℃のヒーター内蔵。 ・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。 ・ロギン...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

真空重ね合せ装置　真空貼合装置

真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。

基本仕様 基板サイズ Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm 重ね合せ精度 10μm以下(パターンピッチ公差含まず) 真空チャンバー 真空度10Pa以下 加圧力 Max 1,000kgf (ロードセルにより検出) ガラス基板固定 静電チャック方式 加熱機構 上下テーブルにヒーター搭載 MAX13...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

対策！！酸素阻害　デジタルピラニ真空計付き真空搬送ボックス

酸素阻害対策！！　ボックス内を窒素雰囲気または真空状態にすることが可能…

特長 ・小型軽量でアンティチャンバー(パスボックス)を通しやすい形状 ・グローブボックス間のワーク搬送に最適 ・リアルタイムの真空度をデジタルピラニ真空計で確認できます。 ボックスサイズなどの仕様変更が可能な製品です。 ご要望に応じてカスタムメイドいたします。 使用用途案 ・酸化が進みやすい物質の搬送 ・発火しやすい物質の搬送 ・加湿を避けたい物質の搬送 ・加熱を避けた...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

有機EL封止ライン（自動搬送タイプ）

グローブボックスに組み入れるなど、お客様のお要望に応じた装置を作製させ…

○真空貼合封止装置 ○ディスペンサー ○UV照射ユニット ○ホットプレート ○冷却プレート ○チャンバー内N2環境 ○基板搬送ロボット...詳細はお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社