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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79
無料プレゼント中!真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…
ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。 大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプなどを掲載しています。 今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78
無料プレゼント中!真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…
「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 【掲載内容】 ■次世代半導体用ナノカーボン材料...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No76
無料プレゼント中!真空に関する最新技術資料 No.76です。【アルバッ…
「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.76」は、真空に関する最新技術資料です。 InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用をはじめ、 真空計「G-TRAN シリーズ」マルチイオンゲージ「SH2」の開発や、 大型振り子バルブ「VFR シリーズ」の開発、自動高速分光エリプソメータ 「UNECS-3000A」の開発などを掲載しています。 今なら最新...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No77
無料プレゼント中!真空に関する最新技術資料 No.77です。【アルバッ…
「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.77」は、真空に関する最新技術資料です。 プリント基板製造用スパッタリング装置「SMV-500F」をはじめ、 Si デバイスのはんだ実装における Au(Ag)レスプロセスの開発や、 ReRAM 素子用スパッタリング量産技術開発の現状などを掲載しています。 今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 【掲載内容】 ■プ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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