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新型チルドタワー、常時チラー運転より約54%の年間電力費ダウン
PR生産プロセス、データセンター空調、DLCサーバーの冷却水用に 現行機よ…
新型の機種は、「チルドタワー CTSーA075M」です。新型のカタログ請求はお問い合わせからご請求をお願いします。掲載のカタログは現行機種です。新型チルドタワーはチラーとドライクーラーを一体化させた構造で、春夏秋冬、朝昼夜の外気温度条件に適したハイブリッド運転を行います。必要な冷水温度(10℃~30℃)を設定すれば、省電力で安定した冷水を自動供給します。また、新型チルドタワーは、新冷凍サイクルでC...
メーカー・取り扱い企業: 桑名金属工業株式会社
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メタライズ用蒸着源。高温セラミックス『PBNエバポレーター』
PBNセラミックスとグラファイトのコンビネーションによる蒸着源。アルミ…
『PBN』は高い電気抵抗と優れた熱伝導性を合わせ持つ異方性の高温セラミックスです。 毒性がなく、非多孔性のPBNは熱CVDプロセスで製造されており、非常に純度の高いものとなっています。メタライズプロセスの蒸着源として使用されています。 【特徴】 ●高純度で長寿命 ●非常に少ないアウトガス ●既存セラミックス製エバポレーターとの置き換えが容易 ●アルミニュウム蒸着膜の品質と厚みの安定...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現!先端技術…
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素(PBN)と導電体である熱分解黒鉛(PG) の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応(1500℃) ...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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