【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気選別機『異物除去用 格子型マグネット 両端固定』

PR食品・粉粒体に混入した金属片を強力に吸着。1ミリ単位のオーダーメイド製…

『格子型マグネット 両端固定』は、食品・加工食品・工業材料などに混入した金属片・微細な鉄粉を吸着除去するマグネット・フィルター。最大1,200mTの直径25mmの高磁力マグネットで微細な鉄粉を吸着捕獲。 格子型にすることでマグネットバー単体よりも大量の金属異物の除去がで可能。主にハウジング内や配管中に設置。マグネットの棒とフラットバーの接合部分は食品用のR付全周溶接、マグネットの棒を固定する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンギョウサプライ

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACU…

R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。...【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着する…

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。...【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！...【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG420M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○安全規格適合　NRTL/SEMI－S2/CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG900M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG390M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所