耐プラズマ性 | イプロスものづくり

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部

耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータ...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。新開…

新開発アークフィラメント型イオンプレーティング法により緻密な酸化膜の厚膜（１０μｍ）を低温で形成半導体製造装置部品に対応した優れた耐プラズマ性をもつイットリア膜の成膜に対応。イオンプレーティング法によるシンプルなプロセスで緻密な膜質を実現。イットリア膜だけでなくＳｉＣやＴｉＣ、ＣｒＮなどの各種反応膜を固体金属材料より形成可能。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スリットバルブシール

、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウ...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。各種素材（金属・ガラス・繊維）上に装飾膜（透明・干渉色）親水膜を実現。天然素材のため人体にアレルギーがなく、素材の変質・変色を防止。食器の表面処理に実用化されており、市場の拡大が期待されています。また赤外線の及光率にすぐれており繊維のコーティング...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射

【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射

【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術【課題】半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイ・シイ・エス

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチング装置のメンテナンスサイクルが大幅に改善 ■溶射、エアロゾル蒸着、イオンプレーティングによる成膜より　耐プラズマ性・耐食性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

固着対策シール

ルメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体・液晶製造装置向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬品性はもちろんのこと、低固着特性に優れた製品を製造・販売しております。...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

高純度イットリア溶射材

耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。これに応えるためフジミでは厳密な品質管理のもと高純度イットリア溶射材を製造しています。イットリア粉末を用いた溶射皮膜（コーティング）はアルミナ粉末を用いた溶射皮膜よりも優れた耐プラズマエロ―ジョン性を有しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジミインコーポレーテッド

OリングフロロパワーDEW (バイトンETP-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材…

E）による白色タイプの材質で、優秀な耐薬品性を有し、極性溶剤や強酸、強アルカリなどに対する耐性も備えています。また、充填剤にカーボンブラックを使用していないことから低パーティクル性に優れ、良好な耐プラズマ性を有しています。パーフロ（FFKM）材質の下位互換として、コストダウンに有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

パーフロOリングフロロパワーFFW (FFKM-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質

パーフロロエラストマーによる白色タイプの材質で、極めて優秀な耐薬品性を有し、充填剤にカーボンブラックを用いていないことからクリーン性や耐プラズマ性などにも優れています。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

低温高周波励起DLC 成膜装置　CVC series

DLC(Diamond-like carbon）コーティング

高周波と直流負パルスを同時印加・高周波プラズマは反応容器外から供給・直流電圧はアークに直結コンパクトでシンプルデザイン・加熱源をもたない・ワークの設置方向に制限なしグラファイトからDLC まで膜質を連続制御・高周波パワーで反応制御・直流電圧値で密着性制御...【アプリケーション例】・機械的特性　耐摩耗：切削工具、摺動部品　低摩耗：真空部品、エンジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

パーフロOリングフロロパワーFFN（FFKM：耐プラズマ）

Oリングの桜シールによる充填剤無使用の耐熱パーフロ（耐高温: 300℃…

極めて優秀な耐熱性や耐薬品性を兼ね備えたパーフロロエラストマー材質で、一切の充填剤を使用していない（ノンカーボン・ノンメタル）ことから低パーティクル性に優れ、優秀な耐プラズマ性を発揮します。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポー...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

パーフロOリングフロロパワーFFHW (FFKM：耐熱+白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプの耐熱性パーフロロエラストマー（耐高…

耐熱性を向上させた白色タイプのパーフロロエラストマーによる材質で、非常に優れた耐薬品性も兼ね備えています。カーボンブラックを使用していないことから低パーティクル性に優れ、優秀な耐プラズマ性を発揮します。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポー...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社

窒化アルミ・石原ケミカル株式会社

半導体製造装置用部材、放熱板に！

石原ケミカルではマシナブルセラミックスでの実績をもとに、高品質の加工品を短納期で提供します。...・高熱伝導率、Siに近い熱膨張率、優れた耐フッ素プラズマ性をもつ素材です。・型不要のため試作1個からOK ◎より詳しい掲載内容につきましては、直接お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：石原ケミカル株式会社高機能材料

プラスチック加工品～ポリイミド樹脂製半導体製造装置部品～

半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDI…

維持する全芳香族ポリイミド樹脂であり、耐熱性は短時間で482℃での使用も可能です。また、耐摩耗性、クリープ性、電気絶縁性等においても優れています。採用理由耐熱性　約270℃ 耐プラズマ性 キャリアの欠け破損防止...

メーカー・取り扱い企業：八十島プロシード株式会社