イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

PRR＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

当社で取り扱う、「イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)」を ご紹介いたします。 標準的なエントリーモデルから、膜厚均一性等の精密な制御が可能な ハイエンドモデルまでラインアップ。企業、アカデミアでの研究開発向けに、 グローブボックス付属等の特殊仕様にも対応します。 また、R＆Dのラボスケールから量産まで対応し、難エッチング材料のエッチング プロセスや、デュアルイ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

電磁式/渦電流式両用 膜厚計『SWT-NEOシリーズ』

PR【膜厚計の基礎知識集進呈中】専用プローブにより測定素地金属を自動認識！…

サンコウ電子研究所の『SWT‐NEOシリーズ』は、塗装／ライニング／メッキや アルマイトなどの絶縁性皮膜に用いることが出来る、膜厚計です。 測定用途に合わせ、鉄素地用プローブまたは非鉄金属素地用プローブ、 鉄・非鉄素地両用から接続プローブの選択が可能になっています。 スリムなボディ設計で手持ち作業の疲労低減。 分かりやすいガイド表示画面で操作も簡単です。 【特長】 ■専用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコウ電子研究所

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富な...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ…

『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーで...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定…

当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える 超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、 専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。 平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを 高精度かつスピーディーに測定可能。 センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社