エルコメーター456 膜厚計＆ウルトラ・スキャンプローブ

PR膜厚の超高速読み取り機能とBluetooth(R)による測定データの転…

「エルコメーター456 膜厚計＆ウルトラ・スキャンプローブ」は、 広い面積、多くの測定箇所で膜厚管理を要求される工事仕様で 素早く膜厚を測定し、データ編集・作成することができる膜厚計です。 毎分140回の速度で膜厚を測定することが可能で、測定値は膜厚計本体に保存。 保存されたデータはBluetooth(R)を使って、モバイル端末、PCに リアルタイムで転送、測定数値を編集アプリで管理することが...

メーカー・取り扱い企業： Elcometer株式会社 エルコメーター

【SCREEN】”塗る”を極めたスリットコータ ※カタログ進呈

PRラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階…

『リサーチコータ』は、液晶や有機ELディスプレー製造工程で 数多くの採用実績を誇る「コーターデベロッパー」の高度な塗布技術を ラボスケールに展開したスリットコータ（ダイコータ）です。 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ(TM)」を搭載。 1～10,000mPa・sの低粘度から高粘度の塗布材料を、ガラス基板、樹脂基板、 フィルム、金属箔など様々な基材に高精度にスリットコートでき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。

自動レジスト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布を...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

Tダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

＜特徴＞ 反応が速い⇒樹脂ロスが少ない、ボルト位置・角度を記憶するため、次からの再現が非常に早い 繰り返し性が高い⇒品種替えの際、フィルム厚みをすぐに変更できる 各種膜厚計との連動による、厚みレシピ保存及びリアルタイムダイリップ自動調整対応 安全性が高い⇒オペレーターが直接ダイに触れる必要がない。マニュアルモードでの特定のボルト調整も可能 既存のTダイに取り付け...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

VAトリム＆シム ツール

ターゲット変更後に均一性の調整を開始！単一の薄い層の厚さ均一性をすばや…

ルLow-Eのような厳格な均一性要求のアプリケーションを 可能にし、生産品質が向上します。 【特長】 ■優れたの均一性を得るために各層を調整 ■ターゲット変更後に均一性の調整を開始 ■膜厚均一性の長期的なズレ発生時にピットイン補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

ツール『VA プロセスマスター』

新しいレシピへの調整時間の短縮！ツールは製膜システムの生産性向上に貢献

動ドリフト補正を可能にし、製品品質を 向上。さらに、このツールは当社のお客様が魅力的な製品のために複雑な レシピを作成することを可能にします。 【特長】 ■インライン測定の解析 ・薄膜膜厚の平均値と均一性の値 ■クローズループ制御 ・プロセス電源出力 ・反応性ガス供給 ・マグネットバー（シム設定） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

脱保護反応解析装置　PAGAシリーズ

フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。

R室内にベークプレートを配置し、加熱しながら官能基の変化を観察できます。 ○紫外線(248nm)照射装置も搭載されており、露光中における酸発生のメカニズムなどの解析にも利用できます。 ○レジスト膜厚75nmでの測定を可能。 ○EUVリソのような超薄膜レジストプロセスの解析に最適。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

pHセンサー

長期にわたる安定した精度を確保

本製品は、容積を十分にとった2重構造の電極により溶液の変化を防ぎ、長期にわたる安定した精度を確保。厚さ0.2mmの半球形電極膜の採用により高耐水圧とハイレスポンスを実現。鉛直分布の直接測定にも威力を発揮し、さらに自動洗浄機構の装備により長期の連続観測を可能にした。...主な特長は、 (1)ガラス複合電極 (2)液絡部はWジャンクション(2重)構造 (3)耐水圧構造 (4)自動洗浄機構付 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東邦電探