【脱メタル】半導体材料向け金属除去製品を幅広くラインナップ

金属汚染のリスク低減に！「薬液の品質に影響が…」「強アルカリ水溶液や酸…

半導体製造プロセスには様々なガス、薬液が使用されますが、これらはサプライチェーンでの輸送や製造中に使用される供給システムや容器への接触によって、常に原料や部材からの金属汚染のリスクにさらされ、半導体製造プロセスの工程の不安定化や歩留まり低減を引き起こします。 Cobetterでは、新規機能膜の開発やフィルタ構造の最適化により、困難とされてきた強アルカリ水溶液や酸性溶液からの金属除去が高効率で...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

一体式フィルター『RK12-130シリーズ』

長時間安定のろ過が可能！効率を確保した上で、流量を大きくして、寿命を長…

『RK12-130シリーズ』は、膜面積を大きくした大流量フィルターです。 膜面積は通常のRK12フィルターの2倍以上であるためフィルターの交換頻度を 減らし、薬液のロスを抑え、長時間安定なろ過を可能にしています。 特に大流量、長時間塗工のろ過工程に適しています。ロール+プリーツの 特許構造(PRF-HCのみ)は、効率を確保した上で、流量を大きくして、寿命を 長くすることができます...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社