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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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有機薄膜簡易蒸着装置
●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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有機デバイス作製・評価装置
●有機デバイス作製・評価装置 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●有機デバイス作製・評価装置 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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有機OED作製・評価装置
特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能…
ます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせている ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの 簡易的なチルト機構としても使用可能 ■蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の 移動・位置決め操作が大気側より行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に…
軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や 微調整などに使用出来ます。 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な チルト機構としても使用可能。 蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が 大気側より行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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