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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…
■シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えている ■お客様のニーズに合わせた好適な真空環境をつくるためには、様々な真空システム (排気ユニット・真空ポンプセット・真空装置)が必要となり、大阪真空はそれに応える 幅広いラインアップの真空製品を提供 ■真空システムの設計、構成、製造において創業以来70年間に蓄積された技術力、経験と実績を有する ■高真空から低真空...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo(デオポ)』
装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化…
株式会社サーマルプラント -
冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御!】
循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替…
株式会社マック -
サービス『ブラウン管モニターから液晶ディスプレイへの置き換え』
工作機械や装置のブラウン管モニターの表示トラブルに困っている企…
株式会社アイテス -
協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)
LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働…
リナック株式会社 日本支社 -
ナノバブル発生装置 PANDORA コストダウン 生産向上
砥石寿命2倍 砥石切込み5倍 加工抵抗50%減 ファイン…
昌弘貿易株式会社 関西営業本部 -
ダイヤモンドライクカーボン膜(DLC)コーティング加工
金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メ…
株式会社栗田製作所 本社・京都事業部 -
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ
独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ド…
神港精機株式会社 東京支店 -
防音ボックス ※屋外設置も可能でコンプレッサー室も不要!
パッケージ型のコンプレッサー防音ボックスなど防音装置で騒音対策…
尾崎ウェルスチール株式会社 本社、機械加工工場、歌島工場、粉体工学研究所 -
Enapter社「AEM式水電解水素製造装置」
AEM(アニオン交換膜)式水電解を採用。アルカリ水電解・PEM…
三國機械工業株式会社 -
半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』
製版作業の半自動化で生産性アップ、生産コスト削減。専用接着シー…
株式会社MkFFJapan