フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

『瞬時電圧低下補償装置　SB/VBシリーズ』

PR瞬低・瞬断によるトラブルから機器を守るこの製品を「JECA FAIR …

『瞬時電圧低下補償装置　SB/VBシリーズ』は、 小型・軽量・省メンテを実現した、瞬低や瞬断の対策に役立つ装置です。 中容量の「VBシリーズ」は、ＵＰＳに比べて設置スペース・質量を大幅に低減できるため、 対策コストを大幅に削減できます。 【特長】 ■過電流耐量が大きく、変圧器突入電流・電動機始動電流にも耐える ■無瞬断の切り換えがスムーズ ■並列方式で、電源が瞬断しても対応可能 ■負荷側に回生...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社指月電機製作所

計量搬送装置　バッチベアー

計量搬送装置　バッチベアー

吸引方式のバッチ式全自動簡易計量搬送装置で、特に搬送、又は投入する粉体の重量を管理したい場合に最適なオールインワンの最新鋭機種のシリーズです。 プラントの規模に応じたシステムを容易に構築できるように、多くの機種を取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

シャトルローダー

シャトルローダー

従来の搬送装置にはない新発想の空気輸送装置です。 シャトルローダーは旋回自動脱着装置(リニア移動自動脱着装置）、真空式搬送装置、制御盤で構成され、特に真空式搬送装置の下部に設けられた自動調芯シール機構により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

パウローダー

パウローダー

高所への粉体の投入は大変ではありませんか？ 又、危険ではありませんか？ 粉塵を吸収して体に悪くありませんか？ こんなケースにお使い下さい。 ■粉粒体を高所のホッバー、充填装置、シフター、ブレンダー、撹拌装置等に補充、充填したい。 ■複数の装置に1台で補充、充填したい為、稼働式にしたい。 ■機械式は掃除、メンテナンスが大変なので他の方法に変えたい。 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部