蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

簡易型UVナノインプリント装置ImpFlex Essential

高微細化、低コスト、高スループットのナノインプリントリソグラフィー

簡易型UVナノインプリント装置　ImpFlex Essentialは、従来のフォトリソグラフィーに比べ、高微細化、低コスト、高スループットで次世代の微細加工技術として注目を集めるナノインプリントリソグラフィー。本装置は上位機種で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

マイクロコンタクトプリンター　MP200

次世代のデバイス作製技術として注目を集めるμCP法対応！

マイクロコンタクトプリンター　MP200は次世代のデバイス作製技術として注目を集めるμCP法（Microcontact Printing）に対応する実験・研究支援装置です。μCP法はPDMSスタンプを用いることにより、チオール分子等による自己組織化単分子膜（SAM）をパターニングするだけでなく、有機半導体材料等の機能性材料を従来の印刷法よりも高精細にパターニング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

マイクロコンタクトプリンター　PA400S

高精度コンタクト圧制御。簡易的な光ナノインプリント実験も可能！

　PA400Sは、次世代のデバイス製作手法として注目を集めるmCP（micro contact printing）法や簡易的な光ナノインプリント（UV－NIL）法に対応するマイクロコンタクトプリント装置です。mCP法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野やバイオ用マイクロ構造体などを、PDMSス タンプによるチオールインク転写によって製作します。UV－NIL法では超微細マイクロデバイスを石...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック