フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サイクロン式クーラント液浄化装置　※デモ機有り

PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去！フィルタレスと液…

「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGｓに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...

メーカー・取り扱い企業： 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部

【機械技術情報】クランクシャフト油穴加工機

最大長さ1000m迄の加工物に対応！ユニークな構成を採りクーラント装置…

り傾斜角が制御された後、Z1、Z2軸の 同期送りにより穴の深さに対する位置決めがされます。 また、MQL方式採用時のネックである切粉の堆積問題を解決すべく、 ユニークな構成を採りクーラント装置を全く不要としました。 【特長】 ■スピンドルユニットは機械ベース前側に上向きに固定 ■クランクシャフトはコラム前側に取り付けられた治具にチヤックと 　センターを介して保持 ■割出（A...

メーカー・取り扱い企業： 山科精器株式会社

【機械技術情報】大型クランクシャフト油穴加工機

クランクシャフトの最大長さ6M！主軸やモーター、回転数などの機械仕様を…

【その他の機械仕様】 ■ATC：ダブルアームタイプ ■工具マガジン：50本 ■ガンドリル装置：コラム左右に配置 ■モーター：3.7kw ■回転数：3000rpm ■移動 ・上下：650/前後：950mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 山科精器株式会社