フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

タブレット型体表面温度モニタリング装置『ASC-7212TS』

瞬時に測温！抗菌タッチパネルを採用することで、操作もカンタン。 顔認…

『ASC-7212TS』は、高感度サーモグラフィーを搭載しており、AI顔認証で 瞬時に検温できるタブレット型の体表面温度モニタリング装置です。 スタイリッシュなデザインで、受付カウンターでの設置に好適。 30cm～180cm内の人物の体表面温度を瞬時に測温できます。 AI技術により、マスクを着用したままでも最大50,0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ロックサービス 第1営業部 先端機器営業推進課