超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...【製品の特長】 ○水素圧縮比60,000を達成 ○内部放出ガスを低減 ○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○ク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)

腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラ…

小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。...○ケミカル対応： 全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。 ○ダストに強い構造： ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 ○大気突入に強い構造： 不意の大気突入に強い堅牢設計です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着する…

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。...【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ　TG2400F

大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。...【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！...【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社飯塚鉄工所　事業紹介

液体機器部品ポンプ・一般産業用ポンプ・バルブ部品のことならお任せくださ…

株式会社飯塚鉄工所では、一般産業用ポンプ製造（OEM生産）や バルブ部品製造を行っております。 5軸仕様CNC旋盤を初めとする豊富な機械バリエーションと加工技術、 溶接技術等により、どんな加工・被削材にも対応。 丸棒材、素形材（一般鋳鉄、ロストワックス、鋳造）などの材料を 中国・韓国からの輸入や外注委託することで、適切なコストパフォーマンスを 実現いたします。 【事業内容...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社飯塚鉄工所 本社工場

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【洗浄機】炭化水素系真空洗浄乾燥機の導入事例集（全9事例）贈呈。

工業部品に対して優れた洗浄・乾燥性能！ワークや洗浄要求度に合わせて好適…

※実機での無償洗浄デモ受付中 ★洗浄でお困りの方必見★ 解決方法が見つかるかも？ 導入事例集を贈呈しています。 ■塩素系・臭素系洗浄機の代替を探している ■洗浄不良（シミやサビ等）で困っている ■乾燥がうまくいかず困っている ■炭化水素洗浄を試みたが、洗えなかったor乾かなかった ■洗浄剤の消費量を削減したい ■炭化水素洗浄機の更新を検討している ■真空ポンプの故障やメンテ...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

新真空熱処理炉『HV9』

型式：TITANH6！IoT制御システムや閉鎖型冷却システムなど搭載

当社の『HV9』をご紹介いたします。 リモート、クラウドを経由した遠隔監視、遠隔制御システムの「Vacuprof」や、 クラウドサーバー対応予測保全システム「PdMetrics」を搭載。 CCコンポジット炭素繊維強化複合材料により放射効率を向上し、 4層グラファイトフェルトによる高断熱構造。効率的な昇温、冷却が可能です。 【特長】 ■閉鎖型冷却システム ・冷却水を閉鎖循環...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファインテック

複合分子ポンプ　TG1810/1813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○ク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG203

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG3413

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG553

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1303

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1003

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG2813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG3213

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...【製品の特長】 ○腐...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG450F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG350F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG220F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ　TG1400F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合　（NTRL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ　TG1100F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG70F

取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○コントローラー一体型 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG240F

取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○コントローラー一体型 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ TG50F

取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG420M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○安全規格適合　NRTL/SEMI－S2/CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG900M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG390M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所