有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

タイムに測定可能 ○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装…

○本体・チャンバー →蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー