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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRmm単位を超える広い面内測定範囲!多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…
当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社新興製作所
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【Bently Nevada】パワフル&優れた接続性!計測した振動デー…
『SCOUT200シリーズ』は、産業向け設備の振動データを記録し、その状態を 監視することにより設備故障を診断するポータブル型振動解析装置です。 危険な場所(爆発性雰囲気)で使用可能な「SCOUT」、一般環境下で 使用を想定した設計の「COMMTEST」があります。 データ収集と分析のニーズに合わせ、どちらのシリーズ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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【Bently Nevada】データ共有を容易に実現!技術者の移動の低…
『ADREシステム』は、データ解析に対して、何らかの制限を 生じさせることなく使い方も簡単で持ち運びにも便利な機能を 満載した機械データ収集システムです。 問題が発生した後(事後にデータ処理をした時)ではなく、 変化した...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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無線(IoT)を活用し、稼働時間、生産性、そして安全性を向上させます
ンドデータが得られます。巡回点検中の振動計測による監視の労力を軽減し、より細かな監視を可能とします。Bently Nevada社のSystem 1やDCSなどの上位システムとの統合により、監視強化、解析機能を付加する事ができます。 主な利点 ● 無線により、ケーブル費用が不要で拡張が容易 ● 危険場所への設置でも従業員の安全を確保 ● 機械の計画外停止の低減 ● 機械寿命を延命 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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