【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

冷窒素ガス装置

ガスの種類を問わず、自在に温度コントロール！ダイレクト冷却方式を採用し…

『冷窒素ガス装置』は、熱拡散複合セラミック「CZ-80」を使用した 特殊熱交換器によって、ガス体の温度を冷却することができます。 空気から取り出した常温の窒素ガスをパイプラインを通じて、本機の 超低温（-100℃以下）の特殊熱交換器に接続して、 -50℃以下の 超低温度ガスに変換するダイレクト冷却方式を採用。 液体窒素ボンベを使用している場所で、ボンベ交換を必要とせず、 連続使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西研デバイズ