P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポ…

○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ○直動式の高速バージョン ○真空対応および非磁性バージョン ○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ○パラレル計測によるアクティブ軌道制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-734 XY ピエゾスキャナ

振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100…

エゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ○PICMA(...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

P-587 6軸高精度ピエゾステージ

長いスキャニングレンジ、位置の直接測定。最大8mradの回転レンジ

御 ○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○6軸すべてのアクティブ軌道制御 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社