大型ガントリータイプXYステージ

ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポ…

リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてくだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインディバイス