薬液供給装置（連続式）　P112

PRプロセス装置に連続で薬液を供給

本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法：W1720*D810*H2010 ○重量：約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

ポリプロピレン製の検討試験用カラム『ムロマック ミニカラム』

PRカラムと液溜槽をポリプロピレンにより一体成形し、丈夫で耐薬品性に優れて…

「ムロマック ミニカラム」はカラムと液溜槽がポリプロピレンにより 一体成形されていています。小さなカラムながら濾層が効率良く試料中の 物質を吸着できるように設計されており、リークやテーリングの少ない 精度の高いクロマトグラフィーが可能です。 使用する樹脂量が少ないため、樹脂のスクリーニングなどの初期検討に 適しています。複数連結して使うことで、一度で複数種類のイオン交換樹脂 の連続...

メーカー・取り扱い企業： 室町ケミカル株式会社 化学品事業部

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニット

圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULV…

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○測定圧力範囲　-100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

到達圧力が向上 →システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○長寿命フィラメント →チタン合金フィラメントは、1本当たり定格連続運転 　（30秒通電／ 60 秒休止）で約75 時間、連続通電で約25 時間と長寿命 ○ハードベークに対応 →接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（UFC）で、 　最高250℃までの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプGRシリーズ

一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULV…

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプ　VDシリーズ Ver.C

強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…

騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプVD シリーズ

『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／…

ても排気速度が低下しにくい強制給油方式の採用 →オプションのオイルミストトラップ・油戻し機構を 　ご利用いただくことにより、VD301・VD401・VD601 は 　大気圧以下の全圧力領域での連続排気運転が可能 ○全機種全閉外扇型3相交流モータに統一 →VD151、VD201 はマルチ電圧対応 →VD301 ～ VD901 は200V級とマルチ電圧を選択可能 →高効率規制（GB3/I...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G

低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ…

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプECO-SHOCK

消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【ア…

空調機器の電力削減が可能 →ECO-SHOCKの運転には65Wの電力のみで、N2 や冷却水は不要 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 →多段ルーツ型で大きな効果を発揮 →1000Pa以下の連続運転時間が多い用途での効果大 ○ドライポンプの性能を改善 →到達圧力性能の向上が期待可能 →排気の騒音を低減可能 →全圧力領域にて排気速度の低下無し ○ユーザフレンドリー →排気配管にバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ CRTSシリーズ

水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバ…

富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナップ】 ○蒸着センサ CRTS-4 ○マルチセンサ CRTS-M6 ○マルチセンサ CRTS-12NS 詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック…

ントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　約3.6kg ○ユーティリティー　AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.