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ノーメンテナンス、3年保証。堅牢で、高精度な密度計を用いた過酸化水素水…
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーで過酸化水素の測定が可能な過酸化水素モニターです。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、幅広い可能性を秘めています。密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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過酸化水素中の不純物イオン分析に役立つソリューション"イオンクロマトグ…
過酸化水素は殺菌剤、漂白剤、大気吸収液、半導体洗浄液など工業、医療の幅広い分野で使用されています。用途によっては過酸化水素中の微量の不純物イオンが問題を引き起こすことがあるため、高純度の過酸化水素が求められています。 過酸化水素中の陰イオン分析をイオンクロマトグラフ‐質量分析計(IC-MS)システムを用いて、直接注入法とマトリックス除去法の2種類の測定方法での結果について、詳説します。 ※詳しく...
メーカー・取り扱い企業: サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社/Thermo Fisher Scientific K.K.
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【プロセス分析計 技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定
プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…
、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。 過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃度をオンラインで常時監視する必要があります。このように、C...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社
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国内外での実績豊富。スラリーの固形分濃度の算出。ノーメンテナンス 3年…
生用や戻り(リターン)配管への設置など、様々なポイントに設置できます。 砥粒についてもシリカ、アルミナ、酸化セリウム他、様々な素材に対応可能です。Si用のほか、SiC用にも対応します。 過酸化水素(H2O2)の濃度、過マンガン酸カリウム(KMnO4)の濃度調整などに使用することも可能です。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、アルカリにも対応し、幅広い可能性を秘めています...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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半導体工程での実用例:硫酸とアンモニア性窒素が含まれる排液から硫酸アン…
測定対象 : 硫酸アンモニウム、硫酸、アンモニア性窒素、過酸化水素 測定範囲 : 0~100%(測定対象による) 温度範囲 : -40~125℃ 接液材質 : ステンレス、ハステロイC276、インコロイ、タンタル ※ガラスの場合はL-Dens3300...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン
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固定化酵素を利用した高精度、高速成分分析装置です。
【高度な基質特異性】 酵素の基質特異性を利用し、培養液、生体液に含まれる妨害物の影響を最小限にできます。 新開発の過酸化水素電極により還元性化合物の影響も最小限になります。 【耐久性】 アルコール、グリセロールなど従来耐久性の低かった酵素も長寿命化。 さらに分析コストを低減します。 【広範な分析対象】...
メーカー・取り扱い企業: 王子グループ 機能材カンパニー
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世界で実際に導入されたプロセス分析計 / オンライン分析計の導入事例集…
収プラント、発電産業) 事例4:パルプ化液中のアルカリ、炭酸塩、水酸化物、硫化物の分析(中和滴定) 事例5:塩水中のカルシウム、マグネシウムの分析 事例6:亜鉛、硫酸、鉄の分析 事例7:過酸化水素の分析(酸化プロピレン(PO)生産のためのHPPO法) 事例8:アセトンとフェノール中の硫酸の分析(クメン法) 事例9:硫酸と硫酸亜鉛の分析(ビスコース/レーヨン生産) 事例10:過マンガ...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社
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ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインラ…
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。 試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法(NIRS)によるインライン分析が有効です。 オンライン分析計 プロセス分析...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社
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エッチング液中の過酸化水素と硫酸の定量【電位差自動滴定装置】
水酸化ナトリウム標準液による中和滴定で硫酸を定量!装置構成および試薬な…
硫酸-過酸化水素エッチング液は、銅の表面洗浄用やハーフエッチング用 として使用され、 硫酸および過酸化水素を主成分とするものです。 含有する過酸化水素が自然に分解しやすい性質から、一定のエッチング速度を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社HIRANUMA
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