【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) P…

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

【開発事例】食品原料培養制御システム

製造時のプロセス情報などを記録！品質管理/トレーサビリティが可能となっ…

食品製造における原料工程（上流）にて原料と栄養素を投入し、 高濃度二次原料を培養する制御システムの開発事例をご紹介します。 基本的な工程制御から各種フィードバック制御を行うと共に、 きめ細かい濃度調整を行うための計算ロジックを適用し、 高品質な原料を生成。 導入後は、製造時のプロセス情報などを記録する事により、 品質管理/トレーサビリティが可能となりました。 【事例概要】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社TCC

【開発事例】プラント制御システム

生産設備の警報、計器の値をリアルタイムで監視可能！製造業での開発事例を…

MELSEC iQ-R シリーズ プロセスCPUを使用したプラント制御システムの 開発事例をご紹介いたします。 MESインターフェイスユニットを使用して上位システム(MES)から生産指図を 取得、生産実績の送信を行う機能や、生産に必要なユーティリティ設備の 制御/監視を行う機能などがあります。 導入後は、プロセスCPUによるFA制御の実現や、PROFIBUSを用いてリモート I...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社TCC

プラント制御監視システム　開発事例

温度/圧力/流量等を自動制御！DCS(YOKOGAWA社のCENTUM…

当社では、コンピュータ制御機器の設計及び製作などを行っており、 プラント制御監視システムの開発実績を有しております。 設備の異常を検知し警報表示する機能や、ユーザーに操作を促す オペガイド機能、温度/圧力/流量/レベル値などのトレンド機能、 生産実績の帳票出力機能を装備いたしました。 【導入効果・ポイント】 ■DCS2重化よる、制御の信頼性向上 ■生産設備の警報、計器の値をリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社TCC

【開発事例】硬化炉上下コンベア制御システム

速度を可変させ安定した品質の製品製造が可能に！装置制御分野の開発事例を…

繊維の成形工程におけるコンベア制御システムの開発事例です。 規定の密度・厚さに成形するための上下コンベアを有し、 インバータによる可変制御を行っています。 導入後は、コンベアの制御をインバータ化する事により、速度を 可変させ安定した品質の製品製造を可能としました。 【事例概要】 ■業種：製造業 ■分野：装置制御 ■開発環境 　・PLC：MELSEC PLC（Qシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社TCC